위의 소스 코드를 그대로 옮기면 현상을 재현해 볼 수 있습니다.

using System;
using System.Diagnostics;
using System.Runtime.InteropServices;
using System.Threading;
using excel = Microsoft.Office.Interop.Excel;

// 참조 추가: Microsoft Excel 16.0. Object Library 1.9
class Program
{
    static void Main(string[] args)
    {
        ExcelTest();

        Thread t = new Thread(excelExeCheckFunc);
        t.IsBackground = true;
        t.Start();

        Console.WriteLine("Press any key to exit...");
        Console.ReadLine();
    }

    private static void ExcelTest()
    {
        excel.Application excelApp = new excel.Application();
        excel.Workbooks workbooks = excelApp.Workbooks;
        excel.Workbook wb = workbooks.Add(Type.Missing);
        excel.Sheets sheets = wb.Worksheets;
        excel.Worksheet ws = (excel.Worksheet)wb.ActiveSheet;
        excel.Range cells = ws.Cells;
        excel.Range rng = ws.Range[cells[1, 1], cells[3 * (3 + 2) + 4, 20]];

        wb.Close();
        workbooks.Close();
        excelApp.Quit();
        Marshal.ReleaseComObject(rng);
        Marshal.ReleaseComObject(cells);
        Marshal.ReleaseComObject(ws);
        Marshal.ReleaseComObject(sheets);
        Marshal.ReleaseComObject(wb);
        Marshal.ReleaseComObject(workbooks);
        Marshal.ReleaseComObject(excelApp);
    }

    private static void excelExeCheckFunc()
    {
        while (true)
        {
            Console.WriteLine("Excel: " + Process.GetProcessesByName("excel").Length);
            Thread.Sleep(3000);
        }
    }
}

사실, COM 객체들이 참조 관리가 있는데 C#과 같은 언어에서는 이 부분들이 숨겨질 여지가 많기 때문에 엄격한 참조 관리가 어렵습니다. 실제로 위의 소스 코드에서는 cells 부분의 참조 횟수 관리가 잘못된 것이므로 다음과 같이 수정하면 excel.exe가 정상적으로 종료됩니다.

// ...[생략]...
excel.Range cells = ws.Cells;

var cel1 = cells[1, 1];
var cel2 = cells[3 * (3 + 2) + 4, 20];

excel.Range rng = ws.Range[cel1, cel2];

wb.Close();
workbooks.Close();
excelApp.Quit();

Marshal.ReleaseComObject(cel1);
Marshal.ReleaseComObject(cel2);
Marshal.ReleaseComObject(rng);
// ...[생략]...

하지만, 이와 같은 식의 참조 관리는 코드가 너무 많아져서 난잡해집니다. 따라서, 만약 허용이 된다면 AppDomain을 통해 제어하는 것도 좋습니다.

static void Main(string[] args)
{
    AppDomain tempDomain = AppDomain.CreateDomain("temp_excel");
    tempDomain.DoCallBack(() => ExcelTest());
    AppDomain.Unload(tempDomain);

    Thread t = new Thread(excelExeCheckFunc);
    t.IsBackground = true;
    t.Start();

    Console.WriteLine("Press any key to exit...");
    Console.ReadLine();
}

private static void ExcelTest()
{
    excel.Application excelApp = new excel.Application();
    excel.Workbook wb = excelApp.Workbooks.Add(Type.Missing);
    excel.Sheets sheets = wb.Worksheets;
    excel.Worksheet ws = (excel.Worksheet)wb.ActiveSheet;
    excel.Range cells = ws.Cells;

    excel.Range rng = ws.Cells.Range[cells[1, 1], cells[3 * (3 + 2) + 4, 20]];

    excelApp.Quit();
}

이렇게 하면, AppDomain.Unload가 호출되는 시점에 내부에서 생성된 COM RCW 객체들의 참조가 자동 해제되므로 개발자가 별도로 관리할 필요가 없어집니다.